本發明利用等離子體氣相化學沉積類金剛石膜方法,采用多層弧面高頻電極、可溶性襯底及襯底連續移動裝置設計的類金剛石粉生產設備,解決了用于生產類金剛石粉的設備及其不間斷連續運行的問題。從而實現了類金剛石粉的工業化生產。類金剛石與金剛石性能并不完全相同,具有優異的力學、化學、光學、電學、熱學性能,屬于新材料領域的功能材料。類金剛石(簡稱DLC)粉可以應用于制造研磨、拋光劑,抗化學腐蝕表面處理涂層,防紫外線涂層,抗老化劑,防曬護膚霜,集成電路熱沉,高能電容器,化工催化劑、添加劑等產品的生產原料。在航天、軍工、電子、機械、化工等行業具有廣闊的應用前景。
聲明:
“類金剛石粉生產方法與設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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