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    硫化法在金屬箔片襯底上制備ZnS薄膜的方法

    1167   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:05:01
    本發明涉及功能材料技術領域，具體涉及一種硫化法在金屬箔片襯底上制備ZnS薄膜的方法。硫化法在金屬箔片襯底上制備ZnS薄膜的方法，選用鋁箔作為襯底材料，剪成小片，分別用丙酮、超聲清洗，將鋁箔襯底裝入磁控濺射系統的樣品位置；在磁控濺射系統真空室中裝載純度為99.99％的金屬Zn靶；啟動機械泵粗抽真空，抽高真空，通入Ar作為工作氣體，工作氣壓為0.5Pa。濺射Zn薄膜后進行硫化處理，?。眊硫粉和樣品放入石英舟，再將石英舟推入管式加熱爐中，硫化加熱，然后停止加熱，隨爐冷卻，直至管式爐溫度降至室溫后取出。本發明以鋁箔作為襯底材料，用磁控濺射沉積Zn薄膜再進行硫化處理的兩步法制備ZnS薄膜，薄膜表面致密，由圓形的晶粒組成。
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    聲明：
    “硫化法在金屬箔片襯底上制備ZnS薄膜的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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