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    透射式全穆勒矩陣光譜橢偏儀及其測量方法

    779   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:05:01
    本發明公開了一種透射式全穆勒矩陣光譜橢偏儀及其測量方法，方法是將起偏臂產生的調制光線投射到待測樣件表面，檢偏臂將待測樣件反射(或透射)的光線解調并接收，通過對測量光譜進行諧波分析，計算獲得待測樣件的全穆勒矩陣信息，并通過非線性回歸，庫匹配等算法擬合提取待測樣件的光學常數，特征形貌尺寸等信息。橢偏儀包括起偏臂(包括光源，透鏡組，起偏器和伺服電機驅動的補償器)，待測樣件和檢偏臂(包括伺服電機驅動的補償器，檢偏器，透鏡組和光譜儀)。本發明可實現各種信息光電子功能材料和器件，以及納米制造中各種納米結構的在線測量，具有非破壞性，快速和低成本的特點。
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