一種鋯酸鉛納米復合電介質薄膜及其制備方法,屬于電子材料、功能材料和智能材料的技術領域,所述材料的Al:PbZrO3體積比為0.5?2.0%:99.5?98.0%,富鋁納米粒子以層狀分布在鋯酸鉛基體上,其擊穿電場強度和儲能密度與鋯酸鉛薄膜對比分別提高了約182%和68%。該材料是通過真空蒸鍍和化學溶液沉積法制備的,具有工藝簡單、成本低廉、可大面積均勻成膜等優點,將在脈沖功率器件領域有著廣泛的應用。
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