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    晶體生長裝置

    928   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:09:02
    本申請提供一種晶體生長裝置，涉及功能材料領域，包括爐體、籽晶桿、坩堝單元和加熱單元，坩堝單元與加熱單元均設于爐體內，加熱單元用于調節爐體內溫度；坩堝單元包括保溫罩、金屬坩堝、內層耐高溫坩堝、外層耐高溫坩堝和墊塊，金屬坩堝嵌設于內層耐高溫坩堝內，內層耐高溫坩堝嵌設于外層耐高溫坩堝內，墊塊支撐于內層耐高溫坩堝和外層耐高溫坩堝之間；保溫罩同時罩設于金屬坩堝、內層耐高溫坩堝、外層耐高溫坩堝的開口側；保溫罩設有提拉孔，籽晶桿穿設于提拉孔內且與提拉孔活動配合。運行時，該結構能夠減小晶體生長過程中坩堝的形變量，坩堝不易被損壞，使用壽命長，成本低。
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    聲明：
    “晶體生長裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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