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    降低自旋閥薄膜矯頑力的方法

    822   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:09:02
    本發明提供了一種利用二次退火降低自旋閥薄膜矯頑力的方法，屬于信息電子、功能材料領域。在磁控濺射儀中制備自旋閥薄膜，在真空退火爐中進行退火。其特征在于：采用兩次退火，退火順序依次為在1000～3000Oe磁場下，在100～300℃溫度下，保溫0.5～3h后，降至室溫；再在50～300Oe磁場下，在100～300℃溫度下，保溫0.5～3h；第一次退火時的磁場方向沿著自旋閥薄膜制備態時的易軸方向，第二次退火時的磁場方向與第一次退火時的磁場方向垂直；退火時本底真空度為1×10－4～1×10－5Pa；退火時通入一定流量的N2作為保護氣體。本發明的優點在于：利用兩次退火，既提高了自旋閥薄膜在室溫下的磁阻效應，又明顯降低了薄膜的矯頑力。本發明對改進磁傳感器的性能有重要的應用價值。
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