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    非制冷紅外器件及其制作方法

    1183   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:10:02
    本發明涉及紅外探測技術領域，具體公開了一種非制冷紅外器件，包括：敏感區、懸臂梁、框架、有源器件和金屬引線，其中，所述敏感區通過所述懸臂梁與所述框架機械連接，并懸空；所述有源器件位于所述框架上，并通過所述懸臂梁與所述敏感區電學連接；所述金屬引線位于所述有源器件上，將有源器件信號引出。本發明還公開了一種非制冷紅外器件的制作方法。本發明通過簡單的結構以及與器件兼容的MEMS工藝，實現了一種具有開關與放大功能的非制冷紅外器件，該器件可與電路分別制造，且后期通過打線集成；從而克服現有的單片集成和3D集成為實現制作，器件和電路的性能需彼此妥協的問題。
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    聲明：
    “非制冷紅外器件及其制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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