提供了一種柔性壓力傳感器及其制作方法。該柔性壓力傳感器包括:柔性電極;復合物電介質薄膜,設置于柔性電極上;高介電常數膠粘層,涂布于復合物電介質薄膜上;泡沫多孔電極,覆蓋于高介電常數膠粘層上。本發明采用高介電常數的復合物薄膜為介電層,能夠顯著提升柔性壓力傳感器的電容變化量,從而提升柔性壓力傳感器的靈敏度;同時電容量的增大減小了寄生電容和電磁干擾對柔性壓力傳感器工作穩定性的影響,提高了抗干擾能力。
聲明:
“柔性壓力傳感器及其制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)