本發明涉及光刻膠領域,尤其涉及一種光刻膠組合物、制備方法及圖案化方法。所述光刻膠組合物,包括以下組分:1~10wt%的感光劑;10~20wt%的酚醛樹脂;0.1~5.5wt%的添加劑;75~88wt%的溶劑;其中,所述感光劑包括:20~70wt%的式(1)所示的第一感光化合物,20~70wt%的式(2)所示的第二感光化合物,以及1~35wt%的式(3)所示的第三感光化合物。本發明的光刻膠組合物同時保證了分辨率以感度,以滿足實際生產的需求。經過試驗測試,本發明的光刻膠組合物的分辨率低于2.5微米,且最小分辨率可以達到1.5微米,同時感度較快,有利于精確圖案化,提高OLED顯示面板的產率。
聲明:
“光刻膠組合物、制備方法及圖案化方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)