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    提升光電探測器光響應的亞波長等離激元微腔光耦合結構

    1378   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:11:01
    本發明公開了一種提升光電探測器響應率的亞波長等離激元微腔耦合結構，通過等離激元微腔對入射光的傳播方向和光場分布進行調制，使入射光被限制在微腔中傳播，減小了光的逃逸，提高了光子的利用率。入射光場被集聚在微腔中使得強度得到極大的增強，通過在微腔中夾持光電轉換材料能夠形成高響應率的光電探測器。該耦合結構由上層周期性金屬條塊形成的金屬光柵層、光電轉換激活層和下層金屬反射層組成。本發明的優點是：利用上層金屬光柵與下層金屬反射層之間等離激元共振所形成的電磁波近場耦合微腔的模式選擇效應，使得進入到微腔的光子沿橫向傳播并形成駐波，既集聚了光場能量又增加了等效光吸收的長度，使得探測器響應率得到極大地提升。
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