本發明涉及一種聚酰亞胺/氧化硅復合材料的前 驅溶液的制備方法,及在基材上形成聚酰亞胺/氧化硅復合材料 薄膜的方法,其包含添加一種硅烷化合物單體使聚酰胺酸帶有 氧化硅基團,添加具有式 (R6) xSi(R7) (4-x)的單體使氧化硅基團帶有可感光聚 合的不飽和基團,及添加式 R8N(R9) 2的單體使聚酰胺酸帶有可 感光聚合的不飽和基團。其中, R6、 R7、 R8、 R9與x如說明書中所定義。本發 明還涉及一種聚酰亞胺/氧化硅復合材料的前驅溶液及聚酰亞 胺/氧化硅復合材料。本發明的復合材料可用于微電子與半導體 組件及光電組件。
聲明:
“聚酰亞胺/氧化硅復合材料的前驅溶液、其制法及制得的復合材料” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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