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    碳化硅-氮化硅復合材料的制備方法及基于其的碳化硅-氮化硅復合材料

    1044   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:14:02
    本發明涉及一種SiC?Si3N4復合材料的制備方法及基于其的SiC?Si3N4復合材料，包括以下步驟：準備模具；以及在1100℃至1600℃下，在所述模具上引入包括Si、N及C的原料氣體，從而形成SiC?Si3N4復合材料。更具體地，本發明提供適用于半導體工藝的高純度SiC?Si3N4復合材料，并通過經由CVD方法使具有高熱沖擊強度的材料Si3N4與SiC材料一起生長來提高SiC材料的熱沖擊強度。
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