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    反應熱壓原位自生銅基復合材料的制備方法

    1233   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:16:02
    反應熱壓原位自生銅基復合材料的制備方法,它涉及一種用于微電子工業的銅基復合材料的制備工藝。為了解決現有原位合成銅基復合材料方法存在設備昂貴、操作復雜、不易控制反應生成物的缺點,本發明是這樣實現的:a.將Ti粉、B粉和Cu粉放入球磨罐中,先抽真空后充氬氣,在球料比為1～20∶1、轉速為200～400轉/分鐘的條件下混粉6～12小時;b.將混好的粉放入石墨模具冷壓成型,使材料的致密度達到20～40%;c.將粉連同石墨模具放入真空熱壓爐中進行熱壓燒結,將材料壓至致密度為95～99%,隨爐冷卻至室溫,退模,獲得TiB2/Cu復合材料。本發明的反應熱壓設備簡單,操作容易,增強體體積分數容易控制,并且反應溫度不需要太高,不會產生副反應夾雜物。
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