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    致密復合材料、其制造方法、接合體及半導體制造裝置用部件

    704   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:16:02
    提供一種復合材料，所述復合材料與氮化鋁之間的線性熱膨脹系數差很小，并且具有足夠高的導熱系數、致密性和強度。本發明的致密復合材料包含含量最多的前三位的碳化硅、鈦碳化硅和碳化鈦，這三種物質按照含量從多到少的順序排列，該復合材料是包含51-68質量%的碳化硅、不含有硅化鈦以及具有1%以下的開口孔隙率的復合材料。例如，該致密復合材料的特性包括：40-570℃的平均線性熱膨脹系數為5.4-6.0ppm/K，導熱系數為100W/m·K以上，以及四點彎曲強度為300MPa以上。
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    復合材料
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