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    二氧化硅-金剛石復合材料及其制備方法

    1026   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:20:01
    本發明為一種二氧化硅?金剛石復合材料及其制備方法，該復合材料為多層膜形成的體材料，每層膜是由SiO2和金剛石組成的混合相結構，制備時，先采用微波等離子體化學氣相沉積法，在基體表面進行金剛石和SiC的共沉積，形成SiC?金剛石混合相膜，然后再對SiC?金剛石混合相膜進行氧化處理，使SiC轉變為SiO2，制備形成SiO2?金剛石混合相膜。重復SiC?金剛石混合相膜的制備及SiC轉變為SiO2的過程，使SiO2?金剛石混合相膜不斷增厚，最后在達到所需厚度后，去除基體，即獲得SiO2?金剛石復合材料。本發明的SiO2?金剛石復合材料兼具氧化硅的透過性和金剛石良好的散熱性，可用于需要良好透過性和散熱性能的場合。
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    “二氧化硅-金剛石復合材料及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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