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    防靜電耐火復合材料及其制備方法和半導體設備

    1191   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:26:01
    本發明提供了一種防靜電耐火復合材料及其制備方法和半導體設備，涉及復合材料的技術領域。本發明提供的防靜電耐火復合材料，采用環氧樹脂、固化劑、導電劑和阻燃劑等原料制得，其中，阻燃劑包括氫氧化鎂、玻璃粉、三聚氰胺氰尿酸鹽和磷酸鋅，通過氧化鎂、玻璃粉、三聚氰胺氰尿酸鹽和磷酸鋅以及導電劑的協同配合作用，使得該防靜電耐火復合材料具有良好的防火性能和防靜電性能。本發明提供的防靜電耐火復合材料的制備方法工藝簡單，操作便利，適合于工業化規模生產。本發明還提供了一種半導體設備，采用上述防靜電耐火復合材料制得。
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    “防靜電耐火復合材料及其制備方法和半導體設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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    復合材料
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