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    氮化鋁復合材料的制備方法及其制備的基板

    879   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-18 15:35:01
    本發明公開了一種氮化鋁復合材料的制備方法,該方法包括:將P2O5、ZnO、NaF、B2O3混合制備成玻璃粉體;將所述玻璃粉體與氮化鋁粉體混合制備成混合粉料;將所述混合粉料干壓成型制備預燒結體;將所述預燒結體進行排膠和燒結制備成所述氮化鋁復合材料。本發明還公開了利用該氮化鋁復合材料制備的基板。本發明選用低介電常數NaF-ZnO-P2O5-B2O3系玻璃與氮化鋁復合通過低溫燒結制備致密的氮化鋁復合材料,并將該氮化鋁復合材料制備基板,該基板的介電常數可達5左右,介電損耗可達0.0006左右。
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