本發明公開了一種用于直拉單晶爐的碳碳復合材料的加工方法,首先利用碳纖維加工成預制體,再在化學沉積爐中將所述預制體加熱至1050°C-1150°C,并通入丙烷氣體,所述丙烷氣體在高溫下分解生成碳,所述碳沉積在所述預制體中,將致密后的所述預制體放在石墨化爐中,加熱至2300°C-2800°C,并保持2-4小時后冷卻形成碳碳復合材料。本發明還公開了一種直拉單晶爐,包括由所述碳碳復合材料加工而成的加熱器,所述加熱器的密度≥1.8g/cm3。本發明所提供的碳碳復合材料的加工方法采用化學氣相沉積爐對預制體進行致密化處理取代了反復浸漬的方法,不僅過程簡單,且在致密化處理過程中不會摻雜入較多的雜質,不需要進行高溫純化處理,大大簡化了加工方法。
聲明:
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我是此專利(論文)的發明人(作者)