本發明提供了一種碳/碳復合材料坩堝及其制備方法、晶體生長爐,其中坩堝包括坩堝體;坩堝體具有用于置物的腔體,坩堝體的側壁包括表層和里層,表層包裹于所述里層的外部,表層和所述里層的材質均為碳/碳復合材料;坩堝體的側壁厚度沿坩堝體的軸向自腔體的底部至腔體的敞口處的方向上逐漸增大;里層的密度小于表層的密度,且里層的厚度沿坩堝體的軸向自腔體的底部至腔體的敞口處的方向上逐漸增大,而表層的厚度保持不變。該碳/碳復合材料坩堝自身具有軸向溫度梯度設計,無需通過加熱裝置的結構設計來產生軸向溫度梯度,可簡化加熱裝置的結構,且可以兼容感應加熱長晶爐和電阻加熱長晶爐。
聲明:
“碳/碳復合材料坩堝及其制備方法、晶體生長爐” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)