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    基于石墨烯/二氧化錫/氧化鋅復合材料的電阻型氣體傳感器、制備方法及其應用

    997   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-18 15:53:01
    一種基于石墨烯/二氧化錫/氧化鋅復合材料的電阻型氣體傳感器、制備方法及其應用,屬于氣體傳感器技術領域。依次由單晶硅襯底、二氧化硅層、鈦黏附層、叉指鉑電極、在二氧化硅層和叉指鉑電極表面涂覆的氣體敏感薄膜組成;鈦黏附層與叉指鉑電極的結構相同,氣體敏感薄膜為石墨烯/二氧化錫/氧化鋅三元復合材料;該三元復合材料由石墨烯、二氧化錫和氧化鋅混合而成,為三維多孔結構。氣體敏感薄膜接觸待測氣體前后,其電阻會發生變化,通過測量叉指鉑電極間電阻的變化,可以獲得傳感器的靈敏度。該傳感器在室溫下具有很高的響應靈敏度、快速的響應恢復速率和良好的響應可逆性,解決了二氧化錫和氧化鋅氣體傳感器需要在高溫下才能工作的問題。
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