本發明涉及一種SnO2?MoSe2復合材料的制備方法、MEMS二氧化硫傳感器及其應用,屬于MEMS氣體傳感器技術領域。本發明所述的SnO2?MoSe2復合材料的制備方法,包括以下步驟:(1)MoSe2的制備:以鉬酸鈉和硒粉為原料,先后加入硼氫化鈉、無水乙醇,進行水熱反應,經過后處理得到MoSe2納米材料;(2)SnO2?MoSe2復合材料的制備:用乙醇溶解MoSe2,然后加入SnCl4?5H2O,置于高壓反應釜中反應;冷卻至室溫后,依次經過固液分離和干燥,最后將所得產物在氬氣下退火處理。本發明制得的MEMS二氧化硫傳感器靈敏度高、響應恢復時間快、選擇性高。
聲明:
“SnO2-MoSe2復合材料的制備方法、MEMS二氧化硫傳感器及其應用” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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