本發明公開了一種基于復合材料狹縫波導的片上無溫漂微環諧振腔光傳感器。包括基于復合材料狹縫波導的微環諧振腔、與微環諧振腔相互耦合的直波導,所述的微環諧振腔分為由正熱光系數材料構成的第一環形波導和由負熱光系數材料構成的第二環形波導;第一環形波導和第二環形波導同心布置,且之間具有環形的狹縫。本發明充分利用了基于狹縫波導的光傳感器高靈敏度的優點,又基于無溫漂復合材料結構解決了傳統片上環形諧振腔高溫漂的缺點,即沒有溫漂而只對所覆蓋的分析物敏感,同時具有加工簡單、結構緊湊的特點,能滿足片上光傳感器的實際需求。
聲明:
“基于復合材料狹縫波導的片上無溫漂微環諧振腔光傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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