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    納米二氧化硅-納米氮化硅復合材料及其制備方法

    848   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 16:01:01
    本發明提供一種納米二氧化硅-納米氮化硅復合材料，包括多個由納米二氧化硅包覆在納米氮化硅表面形成的微粒，其中，所述納米氮化硅與納米二氧化硅的質量比為1:1~10:1。納米氮化硅與納米二氧化硅按質量比1∶1~10:1進行復合，使得該復合材料的穩定性好，介電常數較低，能夠廣泛應用于超大規模集成電路電子封裝等領域。本發明還提供一種納米二氧化硅-納米氮化硅復合材料的制備方法。
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