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    復合材料原子層淀積反應器

    846   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 16:02:02
    本實用新型屬于高新技術領域,具體涉及一種復合材料的原子層淀積反應器。包括玻璃或不銹鋼的反應外管,內部的若干玻璃和不銹鋼混合組成或全不銹鋼組成的固態源進氣管,復合材料的氣流控制毛細管等部件。過去反應管采用玻璃或石英制作,結構比較脆弱,本實用新型采用復合材料的優點是:易損部件用不銹鋼材料后,堅固耐用,而且精度高。特別是固態源進氣管結構細長脆弱,采用玻璃或石英制作極易損壞。本實用新型采用不銹鋼材料制作固態源進氣管后效果非常顯著;復合材料的氣流控制毛細管采用不銹鋼毛細管和外層的聚四氟乙烯等塑料組成,氣流控制精度非常高,無對外泄漏,堅固耐用。
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    復合材料
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