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    多孔硅基多壁碳納米管復合材料氣敏傳感器及其制備方法和應用

    965   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 16:23:03
    本發明公開了一種多孔硅基多壁碳納米管復合材料氣敏傳感器及其制備方法和應用，傳感器包括大孔徑的多孔硅基底、一層設置在所述多孔硅基底頂面邊界處的Pt膜電極、與所述Pt膜電極連接以確保Pt膜電極與多孔硅基底之間實現歐姆接觸的銅絲、電泳法沉積在所述多孔硅基底上的多壁碳納米管薄膜以及對稱設置在所述多孔硅基底上表面的兩塊方形的Pt電極；利用雙槽電化學腐蝕法制備大孔徑的多孔硅基底，采用電泳法在其表面可控沉積多壁碳納米管，構建新型的多壁碳納米管/多孔硅納米復合材料氣敏傳感器，能夠在室溫下對二氧化氮和氨氣氣體具有高靈敏度、快速的響應/恢復特性、良好穩定性以及與硅基集成電路系統的良好兼容性。
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