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    基于超聲振動輔助飛秒激光加工C/SiC復合材料的方法

    835   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 16:24:02
    一種基于超聲輔助高重頻飛秒激光加工C/SiC復合材料的方法，先搭建飛秒激光加工光路系統，光路包括高重頻飛秒激光器，高重頻飛秒激光器輸出激光依次經過分1/2波片、分光棱鏡、擴束器等進入振鏡垂直照射在超聲振動裝置的加工工位上，超聲振動裝置的振幅由超聲發生器控制，超聲振動裝置的位置由三維移動平臺控制，利用計算機控制振鏡進而控制高重頻飛秒激光器、振鏡、三維移動平臺的加工過程中的功率、運動軌跡速度和激光焦點與材料表面的離焦量；本發明超聲波振動空化效應和近場對流增強作用有利于減少粒子屏蔽、更好地冷卻燒蝕的顆粒和碎屑，降低它們與材料表面結合的趨勢，減少表面氧化，提高加工表面質量和去除深度；獲得的C/SiC復合材料表面光滑平整。
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