本發明屬于高純石墨纖維隔熱復合材料技術領域,特別是涉及一種高純半導體用石墨纖維隔熱復合材料及其制備方法。包括,碳纖維絲和粘合劑;所述碳纖維絲按照預設方向排列;碳纖維絲經過石墨化處理后形成的石墨纖維絲密度按照預設從內到外逐漸減??;所述粘合劑為酚醛樹脂,所述粘合劑為液體和/或粉劑;所述石墨纖維絲90%以上沿產品圓周方向或平行于石墨纖維圓筒產品軸方向排列。解決了現有半導體硅晶棒和碳化硅晶棒中熱場隔熱材料純度低,隔熱效果差的技術問題。
聲明:
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