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    含Si3N4和BN復合涂層的碳陶復合材料坩堝及其制備方法

    1091   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 16:32:03
    本發明公開了一種含Si3N4和BN復合涂層的碳陶復合材料坩堝及其制備方法，由碳陶坩堝基體依次沉積Si3N4涂層、BN涂層制得。本發明以碳陶坩堝為基體，先在其孔隙和表面(內表面和外表面)沉積Si3N4涂層，然后再沉積BN涂層制得，本發明僅需采用單一坩堝生產單晶硅，通過碳陶坩堝基體、Si3N4涂層和BN涂層三者的協同作用，極大的提升了坩堝的高溫穩定性能和抗硅蝕能力，同時坩堝表面對硅的潤濕性差，避免了生產單晶硅后的硅晶粘鍋難以清理，既延長了坩堝的使用壽命，又減少了坩堝更換頻次和提升了單晶硅生產效率。
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    “含Si3N4和BN復合涂層的碳陶復合材料坩堝及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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