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    基于石墨烯/多壁碳納米管/氧化鋅復合材料的電阻型氣體傳感器及制作方法

    754   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 16:38:02
    一種具有室溫氣敏響應特性的石墨烯基電阻型氣體傳感器及其制作方法，屬于氣體傳感器技術領域。是以單晶硅為襯底，采用熱氧化法在單晶硅表面生成二氧化硅層；在二氧化硅層表面沉積3～5對叉指金電極，在叉指金電極上連接有引線，在二氧化硅層和叉指金電極表面涂覆有氣體敏感薄膜，該氣體敏感薄膜為石墨烯/多壁碳納米管/氧化鋅三元復合材料，薄膜的厚度為10～50μm；氣體敏感薄膜接觸待測氣體前后，其電阻會發生變化，通過測量叉指金電極間電阻的變化，可以獲得傳感器的靈敏度。感器在室溫下具有很高的響應靈敏度、快速的響應恢復速率和良好的響應可逆性，解決了氧化鋅氣體傳感器通常需要在高溫下才能工作的問題。
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