本發明公開了一種復合材料氣敏傳感器的制備方法,包括以下步驟:S1:采用液相刻蝕法制備手風琴狀的Ti3C2Tx MXene前驅體;S2:采用水熱法將無水醋酸銅與Ti3C2Tx MXene前驅體混合后溶解于無水乙醇中,得到均勻分散的p?n異質結Ti3C2Tx/CuO介孔材料;S3:將p?n異質結Ti3C2Tx/CuO介孔材料的粉末分散在乙醇溶劑中,經過超聲得到均勻的分散液,將分散液滴鑄在SiO2/Si襯底的Au/Cr叉指電極上,經過加熱干燥之后形成敏感層,得到Ti3C2Tx/CuO氣敏傳感器。本發明能夠提高氣敏傳感器的靈敏度和二氧化氮氣體檢測能力。
聲明:
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