本發明一種真空環境下復合材料尺寸變化量測量裝置,包括激光頭、真空罐、光學窗口、溫控艙、分光鏡、第一線性反射鏡、第二線性反射鏡、被測件;激光頭放置于真空罐外,在真空罐的一側開有光學窗口,控溫套、分光鏡、第一線性反射鏡、第二線性反射鏡、被測件均放置于真空罐內;分光鏡、第一線性反射鏡、第二線性反射鏡、被測件均放置在控溫套內;分光鏡、第一線性反射鏡、第二線性反射鏡均放置于被測件上;激光頭、光學窗口、分光鏡、第二線性反射鏡同軸放置。本發明能夠實現1nm分辨率的長度測量,可以滿足目前航天遙感器的高精度裝調要求。
聲明:
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