本發明公開了一種高分子材料-金屬氧化物薄膜復合材料及其制備方法。以高純過渡族金屬為靶材,高分子材料為基材,采用磁控濺射技術,首先在高分子基材上制備由純金屬至低價金屬氧化物,再漸變至高價氧化物的過渡層,再制備金屬氧化物薄膜層。過渡層中與基材結合面的純金屬柔性好,延展行強,與柔性高分子基材的物理性能相匹配,降低了由于材料的不匹配引起的薄膜內應力,并且可以阻止膜內裂紋沿結合層間擴展,使柔性高分子材料與金屬氧化物薄膜的結合牢度顯著提高。
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