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    多功能復合材料氣相沉積爐

    962   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 16:44:01
    本實用新型涉及氣相沉積爐技術領域，尤其涉及多功能復合材料氣相沉積爐，包括爐體，所述爐體的內側下半部設置有加熱室、上半部設置有沉積室，所述沉積室的一側內壁設置有水平的固定柱，固定柱的端部鉸接有活動柱，活動柱的兩端對應位置處分別鉸接有圓弧形的夾板，兩邊的夾板之間夾持有旋轉盤，旋轉盤的底部通過吸盤吸附有待氣相沉積的晶圓，本實用新型解決了在對晶圓表面進行氣相沉積時，會出現沉積不均勻的狀況，影響產品質量的問題，本沉積爐的提出，工作人員能夠根據需要實時調整晶圓的受噴區域，保證整個晶圓能夠均勻的進行沉積作用，有效提高產品的質量。
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    “多功能復合材料氣相沉積爐” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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