本發明提供的方法基于蒙特卡洛方法模擬粒子形成薄膜的隨機過程。根據所選多相材料的特點設定參與隨機事件的粒子數量和相關的能量參數,并對薄膜基底的材料和形貌進行選擇和定義,獲得三維薄膜生長模擬的過程信息。通過改變沉積相的參數,沉積條件(如,溫度,基底表面形貌)等模擬條件,可以幫助技術人員發掘復合多相薄膜結構形態形成的機理。
聲明:
“復合材料薄膜三維多相同步生長的模擬方法及系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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