本實用新型提供了一種板式PECVD系統中的鍍膜載板部件,包括鍍膜載板、兩根石墨導軌、兩根碳?碳復合材料導軌、碳?碳復合材料螺桿以及碳?碳復合材料六角螺母;鍍膜載板的設置有內六角沉頭式通孔的邊部、石墨導軌、碳?碳復合材料導軌按照從上到下的順序依次疊加在一起且通過碳?碳復合材料螺桿以及碳?碳復合材料六角螺母連接在一起;碳?碳復合材料螺桿以及碳?碳復合材料六角螺母在酸洗過程中不會被氫氟酸腐蝕;碳?碳復合材料螺桿的機加工難度、機加工工作量以及切削量均比較??;內六角沉頭式通孔與碳?碳復合材料六角螺母均為六角結構,可以卡著固定碳?碳復合材料六角螺母,可以定位與卡位,在上下方向上對齊擺正,提高了安裝精度。
聲明:
“板式PECVD系統中的鍍膜載板部件” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)