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    功能梯度結構的壓電驅動器件及其制備方法

    1055   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 16:47:19
    一種功能梯度結構的壓電驅動器件及其制備方法,屬于懸臂梁結構壓電驅動器技術領域。采用粉末燒結方法將鋯鈦酸鉛壓電陶瓷和金屬AG進行復合,通過逐層改變AG含量形成AG成分梯度變化的壓電陶瓷復合材料,在復合材料的上下表面涂覆銀電極并切割成型,制備得到PZT/AG功能梯度結構的壓電驅動器。壓電陶瓷復合材料的燒結溫度為900-1200℃,AG含量最高為15VOL%。本發明的優點在于,AG作為第二相加入PZT一方面調控壓電復合材料的壓電性能并沿驅動器厚度方向形成梯度變化,使得各復合層協調變形;另一方面由于金屬第二相的彌散強化和阻裂增韌作用,大幅提高了懸臂梁結構壓電驅動器的可靠性和服役壽命。
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