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    光學部件保持構件及其制造方法

    755   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 16:47:19
    本發明涉及一種由陶瓷制成的光學部件保持構件及其制造方法,并且提供防止露點冷凝的有效滲透性。該光學部件保持構件由氮化硅陶瓷基復合材料制成,用于保持光學部件,該氮化硅陶瓷基復合材料通過其中使硅與氮反應的氮化方法制備。通過使用含有碳化硅和鐵化合物的氮化硅陶瓷基復合材料,當在厚度為1mm的氮化硅陶瓷基復合材料的樣品的兩個表面之間加有壓差為0.4MPa的氣壓時,在1.5cm2的有效氣流面積內實現了按每分鐘計50ml以上的氣流量,并且獲得了具有防止露點冷凝的有效滲透性的光學部件保持構件。
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