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    同腔原位復合沉積銥?氧化鋁高溫涂層設備與工藝

    939   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 16:53:48
    同腔原位復合沉積銥?氧化鋁高溫涂層設備與工藝，涉及化學氣相沉積技術領域。設備包括反應腔體系統、四條管路系統、真空系統和尾氣處理系統，系統之間通過管路密封連接。四種前驅體源置于源瓶中，源瓶與四條管路分別相連。通過四個氣動閥調控前驅體源的通入，N2作為源的載氣，真空泵系統為設備提供一定真空度，尾氣處理處理系統對反應后產物進行處理后排放；通入Al(CH3)3、H2O源，ALD沉積復合材料的Al2O3層，通入Ir金屬化合物、O2源，ALD沉積復合材料的Ir層，將Ir化合物源通入反應腔內高溫分解，CVD沉積Ir層。按照復合涂層工藝方案沉積，得到耐高溫抗氧化、高粘附力、抗熱震的Re基Ir?Al2O3復合涂層材料。在航空航天、能源動力以及國防等領域具有廣泛的應用。
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