本發明屬于單晶硅拉制爐用熱場部件技術領域,具體涉及一種具有碳化硅/硅復合陶瓷層的坩堝。所述坩堝包括炭/炭復合材料構成的坩堝以及附著于炭/炭復合材料坩堝內外表面的碳化硅/硅復合陶瓷層,或所述坩堝包括炭/炭復合材料構成的坩堝以及附著于炭/炭復合材料坩堝內表面的碳化硅/硅復合陶瓷層,所述碳化硅/硅復合陶瓷層是由碳化硅和硅彼此鑲嵌混合而組成。本發明通過制備工藝與坩堝結構的優化匹配;得到了性能優良、使用壽命長久的產品。本發明制備工藝可控,便于大規模工業化應用。
聲明:
“具有碳化硅/硅復合陶瓷層的坩堝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)