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    半導體裝置用部件及其制造方法

    752   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 16:53:50
    本發明提供一種低價的半導體裝置用部件及其制造方法，該半導體裝置用部件可以在表面上形成高品質的鍍層，高溫(100℃)下的熱傳導率大于或等于180W/(m·K)，具有不會由螺栓緊固等導致開裂程度的韌性，并且，即使通過焊接而與其它部件接合，也不會由熱應力導致脫焊。半導體裝置用部件(1)，其熱膨脹系數大于或等于6.5×10－6/K而小于或等于15×10－6/K，溫度100℃下的熱傳導率大于或等于180W/(m·K)，其具有：基材(11)，其由原材料為粉末材料的鋁－碳化硅復合材料構成，該鋁－碳化硅復合材料是將顆粒狀的碳化硅分散在鋁或鋁合金中而成，其碳化硅的含量大于或等于30質量％而小于或等于85質量％；以及表面層(12)，其與基材(11)的上下表面接合，其含有原材料為熔鑄材料的鋁或鋁合金。
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    “半導體裝置用部件及其制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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