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    變形鏡形變補償的校正裝置及補償方法

    1133   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 16:55:12
    一種變形鏡形變補償的校正裝置及補償方法，裝置包括變形鏡，變形鏡的下方粘結有透明復合材料薄膜，透明復合材料薄膜的外圈均勻連接有多個夾取裝置，夾取裝置外側通過調節旋鈕和鏡筒的上部連接，鏡筒的上部和下部通過緊固螺釘連接；調節旋鈕外側設有彈簧，夾取裝置的下表面與鏡筒的下部上表面接觸；透明復合材料薄膜下方的鏡筒設有頂柱，頂柱和微調旋鈕通過螺紋連接在鏡筒的下部；補償方法是先通過調節旋鈕拉伸彈簧，控制微調旋鈕使頂柱與透明復合材料薄膜的下表面接觸，然后使用激光干涉儀測量此時變形鏡的面形數據，根據面形數據，調節相應的調節旋鈕、微調旋鈕，再測量調節后的變形鏡的面形數據，直至補償完成，本發明裝置結構簡單。
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