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    CVDSiC/SiO2梯度抗氧化復合涂層及其制備方法

    788   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-18 17:02:45
    本發明公開了一種CVD?SiC/SiO2梯度抗氧化復合涂層及其制備方法,主要用于石墨、C/C復合材料及易氧化陶瓷基材料(如C/C-陶瓷復合材料、C/陶復合材料、碳化物陶瓷等)的長時間抗氧化保護。涂層采用化學氣相沉積(CVD)方法制備,具有良好的可控性和可設計性。涂層由SiC涂層、SiO2涂層及SiC與SiO2共沉積涂層組成。涂層由一種梯度構成,或由多個梯度構成多層復合梯度涂層,即由內至外涂層依次為SiC/SiC-SiO2/SiO2涂層,或依次SiC/SiC-SiO2/SiC~SiO2/SiC-SiO2/SiO2涂層,或依次為SiC/SiC-SiO2/SiO2/SiO2-SiC/SiC/SiC-SiO2/SiO2…SiC/SiC-SiO2/SiO2,或為SiC/SiC-SiO2/SiO2-SiC/SiC-SiO2/…/SiO2-SiC/SiC-SiO2/SiO2,或為SiC/SiC-SiO2/SiC~SiO2/SiO2-SiC/SiC~SiO2/…/SiC~SiO2/SiC-SiO2/SiO2,或僅為SiC~SiO2共沉積涂層。所制備的梯度復合涂層在室溫至1700℃都具有良好的長時間抗氧化性能。
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