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    二硫化鉬/納米金剛石復合濕度傳感器及其制備方法

    820   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 17:02:46
    本發明提供一種二硫化鉬/納米金剛石復合濕度傳感器及其制備方法，包括步驟：水熱法合成二硫化鉬/納米金剛石復合溶液，將其離心、洗滌以及超聲分散得到二硫化鉬/納米金剛石復合材料分散液；再將該復合分散液涂覆到電極基片表面，放置入保護氣體中靜置進行干燥處理，從而得到附著有二硫化鉬/納米金剛石復合材料薄膜的電極基片；其中電極基片包括依次設置的硅基體、二氧化硅層、二氧化硅層表面形成第一電極和第二電極以及在所述二氧化硅層、第一電極和第二電極上附著的水熱合成的二硫化鉬/納米金剛石復合材料薄膜；本發明的濕度傳感器具有較高的響應靈敏度和快的響應速度。
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