本發明涉及一種氮化硅基體的制備方法,主要用于纖維增韌陶瓷基復合材料、多孔陶瓷材料基體的制備。本發明采用化學氣相滲透/化學氣相沉積技術在基底材料內部/表面沉積氮化硅基體/涂層,通過控制工藝參數調整陶瓷基體的沉積速度、沉積厚度以及滲透均勻性。本發明充分利用化學氣相滲透/化學氣相沉積工藝的優勢,制備的氮化硅基體具有沉積滲透深度大、與基底結合好、性能高等特點。結合氮化硅基體的透波特性,此種制備方法還將為連續纖維增韌陶瓷基復合材料的結構功能一體化設計奠定基礎。
聲明:
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