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    研磨處理用載體、研磨處理用載體的制造方法及磁盤用基板的制造方法

    927   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-18 17:07:00
    研磨處理用載體由包括取向為至少一個方向的纖維和樹脂材料的復合材料形成,并具有在由上平板和下平板夾持圓板狀的基板而對所述基板的一對主表面進行研磨處理時用于保持所述基板的保持孔。所述保持孔在所述保持孔的內周壁面的周上具有以在所述保持孔保持所述基板的狀態下使所述基板與所述纖維接觸的方式構成的第1壁部和以在所述保持孔保持所述基板的狀態下使該基板不與所述纖維接觸的方式構成的第2壁部。所述第2壁部形成于所述內周壁面中的朝向包括所述一個方向的所述纖維的取向方向的部分。
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