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    納米多孔銅液態金屬復合熱界面材料及其制備方法

    934   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 17:07:01
    本發明的一種納米多孔銅液態金屬復合熱界面材料及其制備方法，屬于微電子封裝材料及其制備技術領域。復合熱界面材料由納米結構多孔銅和液態金屬制成，液態金屬熱界面材料的合金質量分數為In：20～40％，Sn：9～12％，Zn：8～12％，Cu：0.5～3％，Ag：0.1～2％，Bi：20～25％，剩余為Ga。制備時，熔煉特定成分的基底銅鑄錠并熔化成薄帶后，酸侵蝕獲得納米結構多孔銅基底材料，配制相應成分的液態金屬合金，多孔銅基底材料上滲鑄，獲得復合材料，100～150℃下熱處理5～10h，冷軋制得納米多孔銅液態金屬復合熱界面材料。該復合材料熱界面材料不僅散熱性能好，熱導率為150～250W/mK，硬度達到145～185HV，而且安全無側漏，具有良好的綜合性能。
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    復合材料
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