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    基于梯度蒸發模具的CVD-TaxHf1-xC固溶體涂層的制備方法

    1128   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 17:07:01
    本發明涉及一種基于梯度蒸發模具的CVD?TaxHf1?xC固溶體涂層的制備方法，將C/C基體懸掛于化學氣相沉積爐中；將前驅體HfCl4和TaCl5粉料放置于蒸發容器內,并置于化學氣相沉積爐的低溫揮發區；將化學氣相沉積爐抽真空至5Kpa，并且關閉閥門以及真空泵后保壓通入氬氣；加熱兩步，第一步以7℃/min加熱到900℃，第二步程序以6℃/min加熱到1100～1250℃，使爐腔在氬氣保護下升溫至預設溫度；沉積完成后挺直通入氫氣和甲烷，繼續通入氬氣對爐腔進行清洗和降溫，使爐體自然冷卻，得到帶有TaxHf1?xC固溶體涂層的C/C復合材料。本發明的制備工藝簡單易操作，制備周期短，能夠適用于形狀復雜的復合材料構件，深化了TaxHf1?xC固溶體陶瓷其在超高溫材料領域中的應用。
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    復合材料
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