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    界面結合強度的遠紫外激光劃痕測量方法及裝置

    817   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 17:08:30
    本發明涉及激光檢測與材料性能檢測技術領域,其以連續加載的脈沖遠紫外激光束通過入射激光束光路系統直接加載于試件的薄膜表面,通過光離解、光致變價、形成晶格缺陷、等離子化等作用實現對材料的剝蝕加工,對有些材料,光子甚至可直接打破分子或晶體之間的結合鍵,使薄膜材料產生剝落。同時,進給系統使試件作進給運動,激光束在薄膜表面形成深度逐漸增加的劃痕,直至膜-基體界面破壞,用膜基界面破壞時的激光束能量經一定數學模型處理后來表征膜基體界面的結合強度。適用于各種硬質工具膜、裝飾膜系、裝飾功能膜、DLC薄膜、有機高分子材料、復合材料以及其它類型的界面結合強度的測定。
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