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    利用微波加熱的化學氣相沉積方法

    787   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 17:10:24
    本發明涉及化學氣相沉積（CVD）技術領域，具體涉及一種利用微波加熱的化學氣相沉積方法。所述方法步驟包括：（1）將石墨、碳化硅、石墨復合材料或碳化硅復合材料中的一種，加工成所需形狀的基體，懸掛在反應腔體內，將反應腔體密封并抽真空至0.1~1Torr；（2）利用微波輻射加熱基體，微波的輸出功率為1～80kW，將基體加熱至500～1200℃；（3）向反應腔體內通入反應氣體，通氣時間為1~20小時，在通氣過程中，基體溫度保持在500～1200℃，得到薄膜材料，反應尾氣經過金屬屑以及噴淋洗滌完全吸收后排出。本發明利用微波加熱基體，縮短了基體升溫時間，提高了生產效率。
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    “利用微波加熱的化學氣相沉積方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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