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    抗總劑量輻照的SOI器件及其制備方法

    710   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 17:11:18
    一種抗總劑量輻照的SOI器件及其制備方法，屬于輻射防護材料領域。本發明解決目前的高低Z交替疊層的涂層工藝復雜，需要進行多次涂覆并干燥，耗時較長且防護能力有限的問題；也無法實現具有柔性的技術問題。本發明由MAX相陶瓷基體，經過刻蝕后，得到層狀結構的Ti3C2Tx材料，然后通過原子層沉積技術將高Z金屬沉積到Mxene層狀結構中得到復合材料，再將復合材料與樹脂基體進行混合后涂覆于SOI器件表面，即得到輻射防護涂層。本發明的材料可用于生活中的防輻射服、醫療方面及核反應中所需的和防護領域。
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